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【科研】学院科研论坛第七期-氧化物功能薄膜的可控制备及微纳器件应用

发布时间:2022-10-19 发布人:任玉升 作者:崔洋 点击率:10

1019日,我院邀请复旦大学微电子学院卢红亮教授为广大师生作题为“氧化物功能薄膜的可控制备及微纳器件应用”的学术报告。本次报告由闫树斌副院长主持报告采用线上/线下结合的形式进行,吸引了我校广大师生及联合培养研究生踊跃参加。

报告内容:基于ALD氧化物薄膜的1-3D结构的气体传感器,应用于气体探测、健康检测、环境监测等领域;基于GaNGa2O3第三代半导体材料功率、光电晶体管器件,应用于光通讯、功率电子、深紫外探测等领域;基于ALD的新型氧HfO2基铁电薄膜器件,应用于新型存储、低功耗逻辑、存内计算等领域。

卢红亮教授从多个方面为广大师生展现了智能微纳传感器及系统的科技性和实用性。丰厚的科研成果、高端的实验器材拓展了师生的视野,也为未来两校间的科研合作奠定了基础。本次报告的成功举办,促进了我校师生与各高校科研机构的学术交流,对鼓励和培养青年教师与学生的学术创新意识、提升学术研究水平起到了良好作用,有利于促进我院师生的科研创新能力,创造浓厚的学术研究氛。